二、技術規(guī)格及參數

   測試量程：

VMSE2010:200*100*200mm  重量：170kg

VMSE3020:300*200*200mm  重量：230kg

          VMSE4030:400*300*200mm  重量：330kg

VMSE5040:500*400*200mm  重量：430kg

玻璃臺承重：15kg

X/Y軸精度（um）：≤3+L/200（L為被測長度單位mm）

Z軸精度（um）：≤3+L/100（L為被測長度單位mm）

物鏡焦距：82mm

最小顯示值：0.1um

物鏡倍率：0.7-4.5X

顯示器綜合放大倍率（23寸）：約37-237X（可加配2X物鏡，或0.5X目鏡）

控制系統(tǒng)：CNC閉環(huán)控制系統(tǒng)

光源系統(tǒng)(手動)：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調

操作系統(tǒng)：WIN7/WIN10

主機材質：采用00級天然大理石（分體式）

電腦：專用電腦

軟件：INSPEC 2D

光柵尺：金屬光柵尺1.0um

導軌：高精度交叉導軌

CCD相機：80W像素模擬相機

激光筆：點紅光（測量時找樣品位置用）

選配件：Z軸探針、同軸光。